RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2019, том 53, выпуск 6, страницы 805–809 (Mi phts5487)

Поверхность, границы раздела, тонкие пленки

Влияние электромиграции на зарождение вакансионных островков на поверхности Si(100) при сублимации

С. В. Ситниковa, Е. Е. Родякинаab, А. В. Латышевab

a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
b Новосибирский государственный университет

Аннотация: С применением метода in situ сверхвысоковакуумной отражательной электронной микроскопии исследован процесс зарождения вакансионных островков на широких террасах поверхности Si(100). Определена температурная зависимость смещения центра зарождения вакансионного островка при нагреве образца постоянным электрическим током. На основе теоретической модели проведена оценка эффективного электрического заряда аддимеров в направлении поперек димерных рядов атомов поверхности. Эффективный заряд имеет положительный знак и не превышает 15 единиц элементарного заряда в температурном интервале 1020–1120$^\circ$С.

Поступила в редакцию: 10.12.2018
Исправленный вариант: 09.01.2019
Принята в печать: 23.01.2019

DOI: 10.21883/FTP.2019.06.47733.9043


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2019, 53:6, 795–799

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024