Влияние никеля и меди, введенных при комнатной температуре, на рекомбинационные свойства протяженных дефектов в кремнии

Методами тока, индуцированного электронным или оптическим пучками, исследовано изменение рекомбинационных свойств индивидуальных дислокаций и дислокационных следов в кремнии в результате диффузии никеля и меди в процессе химико-механической полировки при комнатной температуре. Обнаружено, что введение никеля приводит к росту рекомбинационной активности как дислокаций, так и дислокационных следов. Введение меди не вызывает существенного изменения контраста протяженных дефектов.