RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2019, том 53, выпуск 1, страницы 115–118 (Mi phts5622)

Эта публикация цитируется в 4 статьях

Физика полупроводниковых приборов

Влияние электрического режима и $\gamma$-облучения на образование поверхностных дефектов на границе раздела Si–SiO$_{2}$ в МОП-транзисторе

Н. А. Куликов, В. Д. Попов

Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва

Аннотация: Приводятся результаты экспериментального исследования процесса образования поверхностных дефектов при воздействии гамма-излучения с мощностью дозы $P$ = 0.1 рад(Si)/с на МОП-транзисторы с $n$-каналом в пассивном и активном режимах. Наблюдались два этапа поверхностного дефектообразования. Предлагается качественная модель, объясняющая влияние напряжения на стоке транзистора на процесс дефектообразования.

Поступила в редакцию: 26.04.2018
Исправленный вариант: 25.06.2018

DOI: 10.21883/FTP.2019.01.46998.8900


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2019, 53:1, 110–113

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024