Полосковая структура для изорешеточных квантовых каскадных лазеров

Описано получение и исследование гребневой полосковой структуры (ridge waveguide) для квантового каскадного лазера на подложке фосфида индия, рассчитанного на длину волны 4.8 мкм, что соответствует одному из окон прозрачности атмосферы. Гетероструктура была выращена молекулярно-пучковой эпитаксией и состояла из 30 каскадов. Постростовая обработка проводилась методом фотолитографии на отечественном оборудовании. Полученная полосковая структура позволила достичь лазерной генерации на требуемой длине волны при комнатной температуре.