RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2018, том 52, выпуск 10, страницы 1207–1212 (Mi phts5717)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Влияние условий синтеза и наночастиц олова на структуру и свойства композитных тонких пленок $a$-С:Н$\langle$Sn$\rangle$

А. П. Рягузов, Р. Р. Немкаева, Н. Р. Гусейнов

Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский национальный университет им. аль-Фараби, Алматы, Республика Казахстан

Аннотация: Приводятся результаты исследования структуры и свойств композитных материалов на основе аморфных пленок $a$-С:Н и наночастиц олова. Синтез композитных пленок осуществлялся магнетронным ионно-плазменным распылением комбинированной мишени в атмосфере смеси газов 92%Ar:4%CH$_{4}$:4%H$_{2}$. Методом комбинационного рассеяния света выявлена зависимость локальной структуры $a$-С:Н$\langle$Sn$\rangle$ пленок от условий синтеза и концентрации наночастиц олова. Показана зависимость интенсивности фотолюминесценции и значения оптической ширины запрещенной зоны в пленках $a$-С:Н$\langle$Sn$\rangle$ от концентрации Sn.

Поступила в редакцию: 05.12.2017
Принята в печать: 29.01.2018

DOI: 10.21883/FTP.2018.10.46463.8785


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2018, 52:10, 1327–1333

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024