RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2018, том 52, выпуск 9, страницы 1104–1106 (Mi phts5746)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Спектры рамановского рассеяния толстых эпитаксиальных слоев GaN на SiC, полученных сублимационным сандвич-методом

А. Н. Анисимовa, А. А. Вольфсонa, Е. Н. Моховb

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики

Аннотация: Исследованы спектры рамановского рассеяния толстых ($\sim$100 мкм и более) слоев GaN, выращенных на SiC кристаллах-подложках посредством сублимационного сандвич-метода. Хорошее совпадение полученных нами спектров SiC-подложек с приводимыми в литературе свидетельствует о надежности наших измерений, а минимальные различия между нашими и литературными результатами для слоев GaN означают, что по качеству слои, выращенные нами с помощью сублимационного сандвич-метода, не уступают изготовленным методами MOVPE или CHVPE.

Поступила в редакцию: 15.02.2018
Принята в печать: 22.03.2018

DOI: 10.21883/FTP.2018.09.46283.8845


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2018, 52:9, 1225–1227

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024