Модуляция заряда германиевых МДП-структур с фторсодержащими диэлектриками

В МДП-структурах на основе германия $n$-типа формировался диэлектрический слой из ErF$_{3}$, YF$_{3}$, NdF$_{3}$ и TmF$_{3}$. Показано, что отрицательный эффективный заряд в данных германиевых МДП-структурах не наблюдается, а деградация электрических характеристик и рост плотности поверхностных состояний приводят к увеличению положительного заряда. Положительный заряд, создаваемый на границе раздела германий-фторид редкоземельного элемента, может компенсировать отрицательный заряд оборванных связей на поверхности германия, что потенциально перспективно для модуляции величины и знака заряда в МДП-устройствах на германии.