А. В. Бабичев, А. С. Курочкин, Е. С. Колодезный, А. В. Филимонов, А. А. Усикова, В. Н. Неведомский, А. Г. Гладышев, Д. В. Денисов, Л. Я. Карачинский, И. И. Новиков, А. Ю. Егоров, “Гетероструктуры одночастотных и двухчастотных квантово-каскадных лазеров”, Физика и техника полупроводников, 2018, том 52, выпуск 6,страницы 597

Эта публикация цитируется в 16 статьях

Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления

Гетероструктуры одночастотных и двухчастотных квантово-каскадных лазеров

А. В. Бабичев^ab, А. С. Курочкин^b, Е. С. Колодезный^b, А. В. Филимонов^a, А. А. Усикова^a, В. Н. Неведомский^c, А. Г. Гладышев^a, Д. В. Денисов^ad, Л. Я. Карачинский^abc, И. И. Новиков^abc, А. Ю. Егоров^b

^a ООО "Коннектор Оптикс", г. Санкт-Петербург
^b Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
^c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^d Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)

Аннотация: Представлены результаты по разработке принципиальной конструкции и отработке технологических режимов выращивания гетероструктур одночастотных и двухчастотных квантово-каскадных лазеров. Гетероструктура двухчастотного квантово-каскадного лазера содержит каскады, излучающие на длинах волн 9.6 и 7.6 мкм. На основе предложенной гетероструктуры возможна реализация квантово-каскадного лазера, работающего на разностной частоте 8 ТГц. В качестве метода выращивания гетероструктур квантово-каскадного лазера применена молекулярно-пучковая эпитаксия. Методами рентгеновской дифракции и просвечивающей электронной микроскопии исследованы структурные свойства изготовленных гетероструктур. Продемонстрировано хорошее совпадение заданных и реализованных толщин эпитаксиальных слоев, высокая однородность химического состава и толщин эпитаксиальных слоев по площади гетероструктуры. Изготовлены полосковые квантово-каскадные лазеры и продемонстрирована их генерация на длине волны 9.6 мкм.

Поступила в редакцию: 19.10.2017
Принята в печать: 08.11.2017

DOI: 10.21883/FTP.2018.06.45922.8751