Влияние концентрации кислорода в составе газовой плазмообразующей смеси на оптические и структурные свойства пленок нитрида алюминия

Проводятся исследования влияния содержания кислорода в плазмообразующей среде в процессах синтеза методом реактивного ионно-плазменного распыления на структуру и свойства пленок AlNO (оксинитридов алюминия). Измеренные показатели преломления синтезированных пленок AlNO находятся в диапазоне 1.76–2.035 и зависят от концентрации кислорода в плазмообразующей газовой смеси, а именно с увеличением доли кислорода показатель преломления уменьшается. Показано, что пленки AlN, синтезированные в плазме азота, имеют поликристаллическую текстурированную структуру. Повышение содержания кислорода приводит к образованию аморфной фазы.