Исследование модифицированной структуры квантового каскадного лазера

Исследован процесс получения модифицированной структуры для квантовых каскадных лазеров, включающий в себя выращивание с помощью молекулярно-пучковой эпитаксии, плазменное травление, фотолитографию с применением жидкостного травления и создание специальных контактов для уменьшения потерь в волноводе. Использование специального типа структуры позволяет и без постростового заращивания высокоомным материалом достичь параметров, удовлетворяющих требованиям к гетероструктурам высококачественных квантовых каскадных лазеров при максимальном упрощении всего процесса изготовления.