Термоэлектрические эффекты в наноразмерных слоях силицида марганца

Экспериментально получены значения величин термоэдс, слоевого сопротивления и коэффициента теплопроводности наноразмерного слоя Mn$_{x}$Si$_{1-x}$ и сверхрешетки Mn$_{x}$Si$_{1-x}$/Si на кремнии в зависимости от температуры в диапазоне $T$ = 300–600 K. Обсуждается роль наноразмерной пленки и подложки в формировании термоэлектрического эффекта. Оценена величина термоэлектрической добротности одиночного слоя силицида марганца, сверхрешетки и системы слой/подложка. Наибольшее значение добротности $ZT$ = 0.59 $\pm$ 0.06 получено для Mn$_{0.2}$Si$_{0.8}$ при $T$ = 600 K.