Остаточные напряжения в кремнии и их эволюция при температурной обработке и облучении

Исследованы распределения внутренних механических напряжений нелегированного и легированного оловом кремния и влияния на них облучения электронами с энергией 5 МэВ и температурной обработки при 450$^\circ$C. Измерения напряжений проводились методом, основанным на регистрации двулучепреломления с помощью модуляционной поляриметрии. Показано, что легированный оловом кремний имеет полосы точечных дефектов с неоднородным распределением остаточных напряжений до 20 кг/см$^{2}$. Температурная обработка при 450$^\circ$C приводит к повышению остаточных напряжений в образце до 50 кг/см$^{2}$. Выявлено, что радиационные дефекты, которые образовались при облучении кремния, легированного оловом, приводят к уменьшению остаточных напряжений до 2–3 кг/см$^{2}$.