Высокотемпературная диффузия магния в бездислокационном кремнии

С использованием сандвич-метода легирования монокристаллического бездислокационного кремния магнием исследована диффузия примеси в диапазоне температур 1000–1200$^\circ$С. Найденная зависимость коэффициента диффузии межузельного магния от температуры универсальным образом описывает данные настоящей работы и ранее исследованную температурную область 600–800$^\circ$С. Малая энергия активации диффузии (1.83 эВ) свидетельствует о межузельном транспорте примеси.