RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2017, том 51, выпуск 6, страницы 844–849 (Mi phts6144)

Эта публикация цитируется в 4 статьях

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Влияние постоянного магнитного поля на формирование силицидных фаз в структуре Cu/Si(100) при изотермическом отжиге

Э. Ю. Бучин, В. В. Наумов, С. В. Васильев

Ярославский филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Физико-технологического института РАН

Аннотация: Экспериментально показано, что процесс твердофазного синтеза силицида меди является магниточувствительным. При низкотемпературном вакуумном отжиге тонкопленочной структуры Cu/Si(100) постоянное магнитное поле умеренной напряженности стимулирует образование твердого раствора кремния в меди и подавляет синтез фазы Cu$_{3}$Si.

Поступила в редакцию: 26.07.2016
Принята в печать: 28.11.2016

DOI: 10.21883/FTP.2017.06.44566.8379


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2017, 51:6, 812–816

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024