Аннотация:
Рассмотрена методика синтеза газочувствительных слоев оксидов меди, полученных путем послойного осаждения на стеклянные и полимерные подложки по реакции окисления молекул аммиачного комплекса меди перекисью водорода. Слои, синтезированные при различном количестве циклов наслаивания, исследованы методами атомно-силовой микроскопии и спектроскопии пропускания (300–1000 нм). Форма спектров указывает на смешанный характер оксида с преобладанием оксида меди (I) Cu$_{2}$O с соответствующей шириной запрещенной зоны 2.1 эВ. Слои обладают сплошной зернистой структурой. Определенная химическим индикаторным методом поверхностная концентрация бренстедовских кислотных центров адсорбции с $pK_{a}\approx$ 2.5 (ОН-групп кислотного характера) составляет для исходных пленок 560 мкмоль/м$^{2}$ и возрастает в три раза при термическом воздействии 80$^\circ$C в течение 30 мин. Полученные результаты представляют интерес в использовании описанной технологии для создания активных слоев оксида меди в газочувствительных сенсорах, работающих при комнатной температуре.
Поступила в редакцию: 17.11.2016 Принята в печать: 28.11.2016