RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2017, том 51, выпуск 3, страницы 305–310 (Mi phts6200)

Электронные свойства полупроводников

Атомная конфигурация и зарядовое состояние водорода на дислокациях в кремнии

Н. В. Высотский, А. С. Лошаченко, О. Ф. Вывенко

Санкт-Петербургский государственный университет

Аннотация: Исследовалось влияние введения водорода на колебательные спектры и электрофизические свойства образцов с дислокационными сетками (ДС) на интерфейсе сращенных пластин кремния. Для увеличения чувствительности измерений и выделения сигнала ДС в спектрах комбинационного рассеяния использовались образцы в виде стандартных тонких фольг, применяемых в просвечивающей электронной микроскопии. В образцах с дислокационными сетками был зарегистрирован пик комбинационного рассеяния 2000 см$^{-1}$, который сохранялся после отжига при $T$ = 500$^\circ$C и не наблюдался в контрольных образцах. Сопоставление экспериментальных данных с имеющимися теоретическими расчетами позволило приписать обнаруженный пик к $H^{0}$ в центре Si-Si связи, который является метастабильным в идеальной решетке, но стабилизируется в окрестности дислокации.

Поступила в редакцию: 26.07.2016
Принята в печать: 10.08.2016

DOI: 10.21883/FTP.2017.03.44198.8378


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2017, 51:3, 293–298

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024