Влияние плотности энергии на мишени на свойства пленок SnO$_{2}$ : Sb при использовании скоростного сепаратора частиц

Методом импульсного лазерного осаждения со скоростной сепарацией частиц на подложках кварцевого стекла без последующего отжига получены тонкие пленки SnO$_{2}$ : Sb при различных условиях осаждения в диапазоне плотности энергии на мишени от 3.4 до 6.8 Дж/см$^{2}$. Исследованы их оптические, структурные и электрические свойства. Установлено, что плотность энергии на мишени влияет на проводимость и пропускание пленок SnO$_{2}$ : Sb. Определены оптимальные условия получения пленок бескапельным методом импульсного лазерного осаждения. Минимум удельного сопротивления 1.2 $\cdot$ 10$^{-3}$ Ом $\cdot$ см наблюдался при плотности энергии на мишени 4.6 Дж/см$^{2}$, температуре подложки 300$^\circ$C и давлении кислорода в вакуумной камере в процессе осаждения 20 мТорр.