RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2016, том 50, выпуск 3, страницы 423–430 (Mi phts6527)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Оптические и структурные свойства композитных слоев Si : Au, полученных лазерным электродиспергированием

О. С. Кен, В. С. Левицкий, Д. А. Явсин, С. А. Гуревич, В. Ю. Давыдов, О. М. Сресели

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Исследованы композитные слои Si–Au, полученные методом лазерного электродиспергирования с различными соотношениями Si : Au. Исследована микроскопическая структура слоев, измерены спектры комбинационного рассеяния света, оптического пропускания и отражения слоев. Показано, что распыление двухкомпонентной мишени Si–Au сильно изменяет морфологию слоев. С увеличением содержания золота в мишени слои становятся неоднородными, появляется большое количество включений, содержащих нанокристаллы кремния и некоторое количество золота. Включения при распылении двухкомпонентной мишени, скорее всего, образуются из больших расплавленных капель, вылетевших из мишени и не успевших разделиться до нанометровых размеров. Нанокристаллическая структура включений объяснена медленным и неоднородным процессом охлаждения частиц на подложке. Сделан вывод, что изменения спектров и фоточувствительности гетероструктур с исследованными слоями вызваны образованием включений, содержащих нанокристаллы кремния с добавлением золота.

Поступила в редакцию: 17.09.2015
Принята в печать: 25.09.2015


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2016, 50:3, 418–425

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024