Электрофизические и оптические свойства оксидных нанослоев, полученных термическим окислением металлического олова

Тонкие слои SnO$_{2-x}$ толщиной 30 нм были изготовлены методом термического окисления нанослоев металлического олова при температуре 450 – 750$^\circ$C. Изучены их электрофизические и оптические свойства. В процессе термического окисления нанослоев олова обнаружено немонотонное изменение их электропроводности. Для оксидных пленок, полученных при 450 и 550$^\circ$C, в оптических спектрах обнаружена полоса поглощения при 340 нм (3.65 эВ). Определена энергия активации электропроводности образцов с различной степенью окисления. На основании полученных экспериментальных и литературных данных предложен механизм окисления нанослоев олова, определяющий их свойства.