Аннотация:
Предложена модель, позволяющая в аналитическом виде проанализировать быстродействие $p$–$i$–$n$-фотодиода волноводной конструкции со светопоглощающей областью, представляющей собой многослойный массив квантовых точек, разделенных нелегированными прослойками. Показано, что существует оптимальное число рядов квантовых точек, а также оптимальная толщина спейсеров, позволяющие получить наибольшую рабочую частоту. Показана возможность достижения частотного диапазона (по уровню -3 дБ) выше 20 ГГц для волноводных фотодиодов на основе квантовых яма-точек InGaAs/GaAs.