RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Письма в Журнал технической физики
// Архив
Письма в ЖТФ,
1985
, том 11,
выпуск 24,
страницы
1512–1515
(Mi pjtf1091)
Нарушение элементного состава в
$Si\,O_2$
при ионно-активированном химическом травлении
Л. Й. Пранявичюс
,
С. Й. Тамулевичюс
,
А. П. Матюкас
Каунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкус
Поступила в редакцию:
24.07.1985
Полный текст:
PDF файл (360 kB)
Реферативные базы данных:
©
МИАН
, 2024