Генерация мелкомасштабных структур рельефа поверхности кремния при пикосекундном воздействии

А. А. Бугаев, Б. П. Захарченя, В. А. Лукошкин

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград

Поступила в редакцию: 09.04.1986

Реферативные базы данных:

•