Электронно-лучевой метод переноса на полупроводниковую пластину рисунка трафаретного шаблона с элементами размером $\sim0.1$ мкм

К. А. Валиев, Л. В. Беликов, Р. Х. Махмутов, С. Н. Сидорук, B. C. Якунин

Реферативные базы данных:

•