Особенности плавления монокристаллической подложки в затравочных окнах при формировании слоев кремния на изоляторе импульсным нагревом

С. Н. Коляденко, А. В. Двуреченский, В. Ю. Баландин, С. П. Верходанов, Л. В. Мишина, О. А. Кулясова

Реферативные базы данных:

•