Эта публикация цитируется в 1 статье

Имплантация мышьяка в кремний излучением мощного KrF лазера

В. Л. Канцырев, Н. В. Морозов, Б. А. Ольшвангер, П. Б. Сергеев, М. А. Тюнина

Реферативные базы данных:

•