RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2021, том 47, выпуск 14, страницы 43–46 (Mi pjtf4737)

Изменение формы наноостровка при селективной эпитаксии

В. Г. Дубровский

Санкт-Петербургский государственный университет

Аннотация: Предложена модель, описывающая изменение формы наноостровков, выращиваемых методом селективной эпитаксии. Модель основана на минимизации поверхностной энергии при заданном объеме. Рассмотрена морфология, в которой островок огранен боковыми фасетками (101) и (112) и фасеткой (001) на вершине, размер которых изменяется в зависимости от объема. Проведены расчеты длин, аспектных соотношений и площадей поверхности конкурирующих фасеток в зависимости от объема островка.

Ключевые слова: селективная эпитаксия, форма островка, поверхностная энергия.

Поступила в редакцию: 06.04.2021
Исправленный вариант: 23.04.2021
Принята в печать: 23.04.2021

DOI: 10.21883/PJTF.2021.14.51187.18811


 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2021, 47:10, 701–704

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024