RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2021, том 47, выпуск 12, страницы 27–30 (Mi pjtf4759)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Направление диффузионного потока галлия при осаждении на поверхность с регулярными массивами отверстий

В. Г. Дубровский

Санкт-Петербургский государственный университет

Аннотация: Автокаталитический рост нитевидных нанокристаллов GaAs и GaP часто осуществляется на поверхностях SiO$_{x}$/Si(111) с массивами литографически подготовленных отверстий. Капли Ga создаются в процессе предварительного осаждения в отсутствие потока As. Ранее считалось, что диффузионный поток Ga направлен с поверхности маски в отверстия. Нами показано, что направление диффузионного потока может быть различным в зависимости от параметров роста. Модель применима для описания времен инкубации капель и позволяет объяснить длительную задержку нуклеации капель и нитевидных нанокристаллов.

Ключевые слова: поверхностная диффузия, массивы отверстий, оксидный слой кремния, капли галлия.

Поступила в редакцию: 12.03.2021
Исправленный вариант: 12.03.2021
Принята в печать: 22.03.2021

DOI: 10.21883/PJTF.2021.12.51063.18765


 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2021, 47:8, 601–604

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024