О. С. Трушин, А. А. Попов, А. Н. Пестова, Л. А. Мазалецкий, А. А. Акулов, “Наноструктурирование при наклонном напылении алюминия”, Письма в ЖТФ, 2021, том 47, выпуск 12,страницы 31

Эта публикация цитируется в 1 статье

Наноструктурирование при наклонном напылении алюминия

О. С. Трушин^a, А. А. Попов^a, А. Н. Пестова^a, Л. А. Мазалецкий^a, А. А. Акулов^b

^a Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН, Ярославль, Россия
^b Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова

Аннотация: Экспериментально обнаружено формирование регулярных массивов наноколонн с высоким аспектным отношением (длина/поперечный размер) в процессе роста тонких пленок Al при наклонном напылении на кремниевую подложку методом электронно-лучевого испарения. Установлено, что оптимальные условия для наноструктурирования реализуются при углах падения испаряемого материала на подложку более 80$^\circ$ (скользящее напыление).

Ключевые слова: пленки алюминия, электронно-лучевое испарение, напыление под углом, эффект затенения, наноструктурирование.

Поступила в редакцию: 01.03.2021
Исправленный вариант: 22.03.2021
Принята в печать: 23.03.2021

DOI: 10.21883/PJTF.2021.12.51064.18748