Нелинейно-регрессионный алгоритм обработки сигналов полупроводниковых химических сенсоров, обеспечивающий селективное детектирование примесей в искусственном воздухе

Разработан новый способ обработки сигнала изменения электропроводности $\Delta\sigma$ при температурной $(T)$ модуляции химического сенсора для селективного определения в воздухе следовых концентраций аммиака, ацетона, н-гексана, пропана, толуола и других примесей. Способ заключается в том, что в диапазоне прецизионно устанавливаемых концентраций $C$ каждой из примесей $Y$ сигнал $\Delta\sigma$ как функция обратной температуры $z=10^3/T$ интерполируется при помощи нелинейной регрессии набором параметризованных функций $F_i(z,A_i,b_i,c_i,\dots)$, $i$ = 1–4, и строятся зависимости для главных (концентрационных) параметров $A_{iY}$(C), определяющие так называемый портрет селективности $Y$. Вписываясь в него, аналогичные величины у детектируемой примеси $X$ подтверждают ее тождественность с $Y$, а общая абсцисса всех точек пересечения линий уровня $A_{iX}$ с кривыми $A_{iY}$(C) определяет численное значение и единицу измерения концентрации $C_{X}$.