Воздействие импульсного тлеющего разряда атмосферного давления на алюминиевые пленки нанометровой толщины

Исследовано воздействие положительного импульсного коронного разряда на поверхность тонкопленочного катода в воздухе атмосферного давления для промежутков 2–8 mm при напряжении 5–15 kV с частотой следования импульсов 10–15 kHz, амплитудой и длительностью импульса тока 10–20 mA и 300–500 ns соответственно. Показано, что при относительно малых средних токах 20–50 $\mu$A вблизи катода разряд трансформируется в тлеющий. Вследствие контрагирования разряда на поперечном масштабе порядка 1 $\mu$m джоулев разогрев формируемого катодного слоя может достигать величин порядка 1000 K и вызывать локальную эрозию поверхности катода. Указанный механизм необходимо учитывать при анализе эффектов взаимодействия плазмы разряда с биологическими объектами.