Аннотация:
Разработана, изготовлена и испытана система низкопрофильного СЗМ-дефлектометра (СЗМ — сканирующая зондовая микроскопия), позволяющая повысить апертуру подводимых объективов до рекордной на данный момент величины $NA$ = 0.75. Внедрение такой системы позволит существенно улучшить показатели оптических методик комбинированных систем СЗМ/оптическая микроспектроскопия.