Исследование индуктивно-связанной плазмы пониженного давления CF$_{3}$Br методами зонда Ленгмюра и оптической эмиссионной спектроскопии

Проведены измерения параметров индуктивно-связанной плазмы пониженного давления газа CF$_{3}$Br методами зонда Ленгмюра и актинометрии. Определены электронная температура и концентрации электронов и положительных ионов, а также радикалов фтора и брома. Предложено объяснение наблюдавшейся ранее значительной деградации диэлектриков со сверхнизкой проницаемостью при травлении в исследуемой плазме.