Влияние кривизны поверхности на процессы физического распыления кремния ионами Ar низкой энергии

Выполнено моделирование методом молекулярной динамики воздействия ионов Ar с энергией 200 eV на модели кремниевых наночастиц различного размера. На основании выполненных расчетов проанализированы механизмы физического распыления и продемонстрированы различия в процессе передачи энергии материалу мишени, которые определяются кривизной ее поверхности.