Аннотация:
Представлены результаты исследования гетероструктур на основе короткопериодных сверхрешеток InGaAs/InGaAlAs, изготовленных методом молекулярно-пучковой эпитаксии на подложке InP и предназначенных для использования в качестве активных областей для вертикально-излучающих лазеров спектрального диапазона 1.3 $\mu$m. Проведены исследования изготовленных гетероструктур методами фотолюминесценции и рентгеновской дифракции. Показано, что изменение отношения толщины квантовой ямы и барьерного слоя сверхрешетки позволяет управляемо смещать положение пика фотолюминесценции для достижения лазерной генерации на длине волны 1.3 $\mu$m, при этом эффективность фотолюминесценции практически не меняется.
Ключевые слова:вертикально-излучающий лазер, активная область, сверхрешетка, квантовая яма, молекулярно-пучковая эпитаксия.
Поступила в редакцию: 11.06.2020 Исправленный вариант: 23.07.2020 Принята в печать: 04.08.2020