С. В. Булярский, В. С. Белов, Е. П. Кицюк, А. В. Лакалин, М. С. Молоденский, А. А. Павлов, Р. М. Рязанов, А. В. Терентьев, А. А. Шаманаев, “Повышение эффективности и длительности эмиссии углеродных нанотрубок после обработки в плазме аммиака”, Письма в ЖТФ, 2020, том 46, выпуск 20,страницы 3

Эта публикация цитируется в 1 статье

Повышение эффективности и длительности эмиссии углеродных нанотрубок после обработки в плазме аммиака

С. В. Булярский^ab, В. С. Белов^ac, Е. П. Кицюк^b, А. В. Лакалин^a, М. С. Молоденский^a, А. А. Павлов^a, Р. М. Рязанов^b, А. В. Терентьев^a, А. А. Шаманаев^b

^a Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, Москва, Россия
^b НПК "Технологический Центр", Москва, Россия
^c Национальный исследовательский университет "МИЭТ"

Аннотация: Разработана технология легирования углеродных нанотрубок азотом в плазме аммиака. Нанотрубки, синтезированные по технологии, исключающей легирование азотом, подвергались обработке в плазме аммиака. В результате концентрация азота в нанотрубках увеличивалась в 5 раз с 0.7 до 3.6 at.%, сопротивление нанотрубок падало в 6 раз, работа выхода уменьшалась на 10%. Такое воздействие приводило к стабилизации процесса эмиссии.

Ключевые слова: углеродные нанотрубки, легирование азотом, плазма аммиака, холодная эмиссия.

Поступила в редакцию: 30.12.2019
Исправленный вариант: 10.07.2020
Принята в печать: 15.07.2020

DOI: 10.21883/PJTF.2020.20.50146.18172