Влияние условий магнетронного распыления на структуру Zr–Pd покрытий

Методом магнетронного распыления на постоянном токе получены неструктурированные аморфные металлические покрытия состава Zr$_{75}$Pd$_{25}$ при средней скорости нанесения 1.3 nm/s и температуре подложки 40$^\circ$C, а также кристаллические покрытия при более высокой температуре. Равновесный фазовый состав кристаллического покрытия наблюдается при температуре 350$^\circ$C. При промежуточной температуре в покрытиях преимущественно (по сравнению с равновесной фазой PdZr$_{2}$) формируется фаза PdZr. Шероховатость полученных аморфных покрытий находится на уровне 0.2–0.5 nm, что на порядок меньше, чем у полученных кристаллических покрытий этого же состава.