Использование импульсного лазерного отжига для формирования омических контактов Mo/Ti к алмазу

Исследуется влияние импульсного лазерного отжига на процесс формирования омических контактов Mo/Ti к алмазу. С использованием метода вторично-ионной масс-спектрометрии показано, что лазерный отжиг контактов приводит к эффективной диффузии атомов углерода в слой титана и формированию карбида титана в переходной области с алмазом толщиной 15–20 nm. Быстрый термический отжиг такой же контактной системы сопровождается резким возрастанием содержания кислорода в слое титана и переходном слое с алмазом и возникновением окисла титана. При этом фаза карбида титана в переходном слое Ti-C не формируется. Показано также, что в использованном режиме лазерного отжига не происходит графитизации приконтактного слоя алмаза, что могло бы кардинально снизить механическую прочность и адгезию контактов.