Фемтосекундный лазерный отжиг многослойных тонкопленочных структур на основе аморфных германия и кремния

Исследованы процессы фемтосекундного лазерного отжига тонкопленочных многослойных структур на основе аморфных кремния и германия, изготовленных методом плазмохимического осаждения на стеклянную подложку. Методом растровой электронной микроскопии обнаружено формирование периодических структур на поверхности облученных пленок. Анализ спектров комбинационного рассеяния света показал, что в результате воздействия фемтосекундными лазерными импульсами происходит кристаллизация аморфного германия, а также зависящее от плотности энергии импульсов смешивание германиевых и кремниевых слоев при отсутствии кристаллизации слоев аморфного кремния.