Влияние режимов работы на отклик сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова

Изучено влияние режимов работы на величину отклика сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова. Образцы получены в результате высокочастотного магнетронного распыления мишени SnO$_{2}$:Sb на сапфировые подложки с предварительно нанесенными Pt-электродами и нагревателем. Варьирование длительности цикла нагрева и снижение температуры в цикле охлаждения позволяют повысить величину отклика на один-два порядка. Полученные результаты объясняются изменением плотности химически адсорбированного кислорода на поверхности пленки SnO$_{2}$:Sb в зависимости от температурного режима.