Термомиграция расплавленных зон по поверхности кремния в условиях теплового удара

Рассматриваются вопросы формирования и миграции расплавленных зон в процессе электрического взрыва тонких пленок алюминия на окисленной поверхности кремния. Обнаружено различие в механизмах формирования и миграции оплавленных зон на поверхности в процессе прохождения токового импульса и после его отключения. Выявлено, что после отключения импульса тока миграция расплавленных зон определяется градиентом температуры вблизи локального теплового источника. По размерной зависимости скорости перемещения получены значения температурных градиентов и проведена оценка коэффициента термоупругости, определяющего динамику миграции зон в поле градиента температур.