Эффект прозрачности в пленках Zr–B–N, полученных с помощью магнетронного распыления мишени ZrB$_{2}$

Проведены исследования тонких покрытий в системе Zr–B–N, обладающих оптической прозрачностью. Показано, что повышение объемной доли азота в газовой смеси и, как следствие, концентрации азота в покрытиях приводит к увеличению оптического коэффициента пропускания вследствие образования фазы BN.