RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2019, том 45, выпуск 24, страницы 14–16 (Mi pjtf5234)

Эта публикация цитируется в 6 статьях

Разработка методов жидкостного травления разделительной меза-структуры при создании каскадных солнечных элементов

А. В. Малевская, Н. Д. Ильинская, В. М. Андреев

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Выполнены исследования постростовой технологии изготовления каскадных солнечных элементов на основе гетероструктуры GaInP/GaInAs/Ge. Исследованы методы жидкостного химического и электрохимического травления слоев гетероструктуры. Разработана технология создания разделительной меза-структуры, достигнуто улучшение качества поверхности и профиля боковой стенки мезы для гетероструктур с разным составом слоев.

Ключевые слова: каскадный солнечный элемент, гетероструктура, травление, меза-структура.

Поступила в редакцию: 28.06.2019
Исправленный вариант: 19.07.2019
Принята в печать: 16.09.2019

DOI: 10.21883/PJTF.2019.24.48795.17953


 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2019, 45:12, 1230–1232

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024