Влияние потока низкотемпературной плазмы азота на морфологию, электрические и УФ-проводящие свойства пленок ZnO на сапфире

Приведены результаты исследования влияния потока высокоэнтальпийной низкотемпературной плазмы азота, генерируемого плазмотроном постоянного тока, на морфологию, электрические и УФ-проводящие свойства пленок ZnO на сапфире. Показано, что сопротивление пленок ZnO после обработки плазмой азота возрастает (максимально в 10$^{4}$ раз) и они демонстрируют отчетливый отклик на ультрафиолетовое освещение. УФ-чувствительность по току и контрастность тока образцов при 6 V имеют величины порядка 3.6 $\cdot$ 10$^{-5}$ A/W и 16 соответственно. Время нарастания и спада фототока $\sim$0.45 s.