Исследование приповерхностного слоя германия, имплантированного ионами кобальта

Представлены результаты исследования наноструктурированной ионной имплантацией поверхности германия. В эксперименте монокристаллические пластины германия ($c$-Ge) облучались ионами Co$^{+}$ с энергией 40 keV в интервале доз (2 – 8) $\cdot$ 10$^{16}$ ion/cm$^{2}$. Методом сканирующей электронной микроскопии исследована эволюция морфологии поверхности германия с увеличением дозы имплантации. Установлено, что с ростом дозы имплантации на поверхности имплантированного германия постепенно формируется слой сферических образований диаметром $\sim$150 nm. Анализ спектров рентгеновск ой дифракции показал появление в имплантированном слое наноразмерных частиц германида кобальта (CoGe).