Электроискровое плазменное спекание керамических мишеней на основе SmS для магнетронного синтеза тонких пленок

Представлены результаты исследования процесса электроискрового плазменного спекания керамики из моносульфида самария. На основании данных сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионного рентгеновского микроанализа и порошковой рентгеновской дифракции синтезированных образцов исследована зависимость микроструктуры и фазового состава керамики от температуры электроискрового плазменного спекания. Показано, что при температуре спекания 1200$^\circ$C формируется плотная беспористая керамика, фазовый состав которой близок к составу исходного порошка.