Роль жидкого подслоя Al в качестве катализатора направленного роста нанокристаллов ZnO

Исследованы поведение и влияние предварительно сформированного легирующего слоя Al, нанесенного на кремниевую подложку, на морфологию и ориентационный рост массивов нанокристаллитов ZnO : Al. Показаны этапы распада легирующего слоя Al на капли квазижидкой фазы под действием температурной обработки на начальном этапе процесса роста по механизму пар–жидкость–кристалл. Представлена схема этапов роста нанокристаллитов ZnO по механизму пар–жидкость–кристалл на подложке Si с предварительно нанесенным слоем легирующего металла.