Ю. М. Николаенко, А. С. Корнеевец, Н. Б. Эфрос, В. В. Бурховецкий, И. Ю. Решидова, “Оценка толщины тонких пленок на основе данных элементного состава пленочных структур”, Письма в ЖТФ, 2019, том 45, выпуск 13,страницы 44

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Оценка толщины тонких пленок на основе данных элементного состава пленочных структур

Ю. М. Николаенко, А. С. Корнеевец, Н. Б. Эфрос, В. В. Бурховецкий, И. Ю. Решидова

Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина НАН Украины

Аннотация: Показана возможность количественной оценки толщины тонких пленок по данным измерений катионного состава пленочных структур с помощью энергодисперсионного спектрометра INCA Energy-350, входящего в состав электронного микроскопа JSM-6490 LV (Япония). Применение данного метода особенно актуально при невозможности обеспечить достаточный контраст между полученными с помощью сканирующего электронного микроскопа изображениями участков пленки и подложки на поперечном сколе пленочной структуры.

Ключевые слова: сканирующий электронный микроскоп, энергодисперсионный рентгеновский спектрометр, нанотолщинные пленки, магнетронный метод распыления мишени.

Поступила в редакцию: 21.02.2019
Исправленный вариант: 08.04.2019
Принята в печать: 11.04.2019

DOI: 10.21883/PJTF.2019.13.47958.17743