Аннотация:
По измерениям на переменном токе температурной зависимости проводимости нанокристаллических пленок смешанного оксида ванадия на кремнии обнаружена многоступенчатая форма петли гистерезиса при фазовом переходе полупроводник-металл в VO$_{2}$. При измерениях на постоянном токе сложная форма петли гистерезиса не проявляется. Такие особенности связаны с размерным эффектом и гетерофазностью пленки оксида ванадия, а также с различным типом носителей заряда в объеме нанокристаллитов и на их поверхностях. Появление ступенек объясняется фазовым переходом в отдельных группах кристаллитов близкого размера. В таких пленках впервые наблюдается “тристабильное” электрическое переключение.
Ключевые слова:оксид ванадия, нанокристаллические пленки, фазовый переход полупроводник-металл, электрическое переключение.
Поступила в редакцию: 18.03.2019 Исправленный вариант: 21.03.2019 Принята в печать: 22.03.2019