В. Е. Асадчиков, С. А. Бедин, А. Б. Васильев, Ю. В. Григорьев, В. П. Назьмов, “Регулярные микроструктуры на основе пленок полиэтилентерефталата”, Письма в ЖТФ, 2019, том 45, выпуск 5,страницы 49

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Регулярные микроструктуры на основе пленок полиэтилентерефталата

В. Е. Асадчиков^a, С. А. Бедин^ab, А. Б. Васильев^a, Ю. В. Григорьев^a, В. П. Назьмов^c

^a Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
^b Московский педагогический государственный университет, Москва, Россия
^c Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН, г. Новосибирск

Аннотация: Разработан метод формирования регулярных диэлектрических и металлических микроструктур на основе пленок полиэтилентерефталата, облученных на источнике синхротронного излучения через маску с последующим травлением. Для исследования их геометрических параметров использована растровая электронная микроскопия.

Поступила в редакцию: 12.12.2018
Исправленный вариант: 12.12.2018
Принята в печать: 13.12.2018

DOI: 10.21883/PJTF.2019.05.47399.17638