Аннотация:
Изучены многослойные структуры на основе алюминия, отражающие на длине волны $\lambda$(HeI) = 58.4 nm. Измерения спектральных и угловых зависимостей коэффициента отражения покрытий проведены с использованием лабораторного рефлектометра и на синхротронах ELETTRA и BESSY II. Многослойные зеркала Ru/Al и Mo/Al с защитным слоем MoSi$_{2}$ продемонстрировали высокую временную стабильность оптических характеристик: при нахождении на воздухе в течение 18 месяцев обнаружено лишь незначительное (не более 1.5% в абсолютных значениях) снижение коэффициента отражения. Пиковый коэффициент отражения для зеркал Mo/Al на длине волны 58.4 nm вблизи нормали составлял $R$ = 26.1% при спектральной ширине кривой отражения по полувысоте, равной $\Delta\lambda_{0.5}$= 10 nm.